超精密磨削要求的加工品质和砂轮的要素

作为超精密磨削加工用砂轮多使用微粒金刚石砂轮，除镜面磨削用途外，也可作为手机、数码相机等ф200以下的小型非球面透镜成型模具加工用砂轮。这些模具由于是用作光学玻璃的热压成型，大多是硬质合金和工程陶瓷制成的。另外，也在进行着用微烂金刚石和工程陶瓷制成的。另外，也在进行着用微粒金刚石砂轮进行磨削加工直接获得非球面透镜的试验。这些磨加工所使用的金刚石粒度目前多为1500~3000#左右，可获得形状精度0.1微米以下，表面粗糙度Ry40mm左右的加工精度。这些作为要求精度不太高的民生用光学透镜的磨削已达到实用化，可尚未达到要求更高精度的大型非球面透镜的要求精度。

　　今后对微粒金刚石砂轮要求的要素，需对超微金刚石磨料作固定磨粒使用时的磨粒特性进行研究。另外，其基本要素要考虑构成微粒金刚石砂轮的磨粒、结合剂、填料等各个原料，不阴碍健全地磨削加工，高精度的均匀分散技术的开发也很重要。

　　超精密加工用磨床的现状可说是最小切入设定值几年前100nm为极限，可最近已制出更高精度的最小分辨能为1nm，象限也调整到最小限度的磨床。虽然以往一直制造着粒度6000#以上的微粒金刚石砂轮，可在最小切入设定值100nm的磨床上尚未得出超微或近似超微粒金刚石砂轮的整形、修整及进行健全磨削的加工条件。今后，在更高精度磨床上的实用例会不断出现，加强微粒金刚石砂轮的规格和加工条件等的研究及推进其实用化。以下就正在实用化的超精密磨削用树脂结合剂砂轮的加工实例及作为使用技术所必要的整形、修整方法加以论述。